適用領(lǐng)域：應(yīng)用在真空鍍膜、真空爐、電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)藥、原子能、宇宙探測等高科技領(lǐng)域　 　　 　　                                                         結(jié)構(gòu)組成：機械泵（干泵）、羅茨泵、擴散泵（分子泵）、濺射離子泵、真空計等 　　 　         　系統(tǒng)特點：智能啟動，實現(xiàn)高真空排氣，高真空計量、高真空實驗等 　　 　　             技術(shù)規(guī)格：根據(jù)客戶實際要求設(shè)計，極限真空度可達：5X10-6Pa。