等離子化學反應過程

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
電場+電子一高速電子+高速離子
電子+分子（或原子）一（受激原子、受激基團、游離基團）活性基團
活性基團+分子（原子）一生成物+熱
活性基團+活性基團一生成物+熱

過程一：高能電子直接轟擊

過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片02+2e→0．
02+0．→03+e
H20+2e→H．+HO．
H20+O.+e-÷2HO．
H．+  02→HO．+0
CHO+2  e→