HALO水分測定儀為用戶提供了無以倫比的準確性、可靠性、響應速度,而且易于操作。HALO水分測定儀采用了TigerOptics專利一個非常全面和經濟的分析儀設計 ~(CRDS)光腔振蕩衰減光譜微量氣體定量分析。此LP分析儀(低壓版本),允許用戶測量氫化物中的水分的氣體,如氨、砷化氫、膦、或惰性氣體。用戶無需間接周期傳感器的維護程序,無需量程校正,無需凈化器更換和無需泵重建。HALOH2OLP不同於HALOH2O,它集成了一個 絕對壓力控制器 提供精確控制需要予 氫化物氣體的精確測量。
測量下限:12ppb (1.4ppb惰性氣體) 外形尺寸(高x寬x深):8.75″ x 8.5″ x 22.5″
靈敏度: 6 ppb 氨 (0.7ppb惰性氣體) 重量: 15千克(33磅)
精度(取大值):讀數的±4%或±6ppb (0.07ppb)
響應速度: 95%的響應 少于3分鐘
環境溫度:+10°C ~ +40°C
存儲溫度:10°C ~ +50°C
所用材料: 316L 不銹鋼(可選哈氏合金) 壓力:10 125 psig
接液部件: 10 Ra 流量:可達1,000 sccm
氣體的連接:1/4” VCR 入氣口及出氣口 氣體樣本: 氨、砷化氫、膦、或惰性氣體
泄漏測試:< 2×10-8mbar?l/min 氣體溫度:低于60°C