主要用途是生產(chǎn)各種金屬膜電阻及氧化膜電阻的專用設(shè)備，可以完成高、中、低不同阻值的鍍膜工藝。
主要組成設(shè)備由真空室、真空機(jī)組、直流濺射源、射頻濺射源、分流式滾筒、充氣裝置、真空測(cè)量及其它輔助裝置等組成。
主要特點(diǎn)★生產(chǎn)能力大，根據(jù)型號(hào)的不同，每爐可鍍制裝載量達(dá)分別為10～11Kg、20～25Kg、30～40Kg左右的瓷體?！锎趴貫R射源工作特性穩(wěn)定可靠，沉積速率高，陰極體采用可變磁場(chǎng)，大大提高了靶材的利用率，在40%以上。★根據(jù)不同電阻值和工藝要求配置不同濺射源，工藝適應(yīng)性強(qiáng)。如配置射頻濺射源可鍍制介質(zhì)膜，配備離化源可鍍制氧化膜。★采用特殊分流式滾筒，瓷體鍍制膜層均勻，阻值集中?！锶缗溆肞LC可編程控制，設(shè)備自動(dòng)化水平提高，性能更加可靠，操作更為簡(jiǎn)便?！镎{(diào)節(jié)沉積室的氣氛可控沉積膜的阻值和TCR（溫度系數(shù)）；鍍制后電阻在合適的“后調(diào)整”熱處理后TCR可接近于零。

上海沃家真空設(shè)備科技有限公司是國內(nèi)領(lǐng)先的真空鍍膜工程集成供應(yīng)商，緊緊圍繞客戶需求持續(xù)創(chuàng)新，為客戶創(chuàng)造最大價(jià)值。我們對(duì)全球伙伴開放合作，在新能源新材料、建筑/汽車、精密制造、重工/軍工等領(lǐng)域構(gòu)建技術(shù)與服務(wù)優(yōu)勢(shì)。我們致力于為企業(yè)、科研院所、薄膜涂層加工中心等提供有競(jìng)爭(zhēng)力的綜合解決方案和服務(wù)。
本公司產(chǎn)品主要有：連續(xù)式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線、平面弧工模具硬質(zhì)涂層設(shè)備、多功能中頻磁控濺射多弧復(fù)合離子鍍膜機(jī)、中頻磁控濺射鍍膜機(jī)、多弧離子鍍膜機(jī)、光學(xué)鍍膜機(jī)等系列真空鍍膜設(shè)備。產(chǎn)品廣泛用于太陽能、半導(dǎo)體、Low-E玻璃、光電、平板顯示、工模具、鐘表五金、3C產(chǎn)品、塑料、陶瓷等。本公司擁有完善的研發(fā)體系、生產(chǎn)制造體系及客戶服務(wù)體系，并聘請(qǐng)國內(nèi)外多位知名專家。目前，產(chǎn)品遍布全國各地及海外，工藝應(yīng)用于數(shù)百家客戶。
公司是全體員工價(jià)值實(shí)現(xiàn)和價(jià)值提升的平臺(tái)，致力于為客戶提供最優(yōu)質(zhì)最環(huán)保的表面處理解決方案，進(jìn)一步整合公司內(nèi)外資源，加大研發(fā)投入，不斷推出新技術(shù)、新產(chǎn)品，以滿足國內(nèi)外市場(chǎng)需求，創(chuàng)造最佳的社會(huì)、經(jīng)濟(jì)和環(huán)境效益。

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