LEYBOLD萊寶SC渦旋式真空泵
目前半導體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學工業的發展迅速,對潔凈真空的要求越來越高。為了滿足客戶對無油潔凈真空的需求,歐瑞康萊寶推出了SC系列渦旋式真空泵。
1、SC系列真空泵特點:
·可以提供抽速為5,15和30m3/h的3款產品SC5/15/30D;
·高極限真空,最低可達0.01mbar;
·低噪聲;
·低振動;
·允許進氣壓力大;
·重量輕;
·能耗低;
2、應用范圍:
·電子束焊接;
·激光;
·檢漏系統;
·加速器/同步加速器;
·表面分析儀;
·STM’s;
·ELMI;
·小型渦輪泵組;
·搬送室;