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晶元光罩技術-多國發明專利：
測量精度完全不受機械誤差影響
無阿貝誤差
X，Y平面坐標精度≤±2.5μm
無需擺正，無需定位，兩點自動對位
直接調入DXF，DRL進行自動檢測
雙鏡頭實時同步導航地圖功能
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