無塵車間相關知識
如何進入無塵無塵車間？
1、  任何進入無塵無塵車間的人，必須先進入無塵更衣室，穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴（如圖①所示）。經過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無塵無塵車間之外，但這才是第一步。
2、  接著就要進入風淋室。所謂風淋室是指一條“吹風的長廊”，不過在這條長廊中吹出來的強風是沒有任何靜電存在的離子風。這種離子風所具有的中和能力可以將人身上的正負電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發、衣服上的灰塵也會自動脫落并粘在地板上的藍色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、  走過風淋室后，就進入無塵無塵車間了。如果無塵無塵車間生產的產品要防靜電，則還要經過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進入百級無塵車間還重復2、3步驟動作。什么是無塵概念？按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。  如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。表1
  A級 B級C級粒徑≤0.5≤0.5 ≤0.5個數 ≤3500≤10000 ≤18000
無塵車間的動線規劃
所謂[動線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規劃時，要檢討分析人(車)路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業之流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染(CrossContamination)。要點：
1．作業者、材料、化學藥品等動線勿集中。
2．制造裝置之出入，需不對作業產生大影響。
3．超無塵車間四周，宜設緩沖區(即較差無塵區)。無塵車間的規劃一般性的規劃重點
無塵車間的整廠規劃(Turn KeyProjects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調、環保、防震、制造等各項專業人才共同規劃，盡管不少無塵車間規劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應盡可能事先確認下列事項：
1. 潔凈度等級。 2.室壓之平衡措施。
3. 溫濕度要求。 4.機器設備之必要性。
  
無塵車間標準-分類
1.亂流式(TurbulentFlow)：
  空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵車間等級1,000-100,000級。
  優點：構造簡單、系統建造成本低，無塵車間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。