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[供應]真空鈦金屬鍍膜
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- 更新日期：2019-06-27 16:13:27
- 有效期至：2029-06-24
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真空鈦金屬鍍膜
詳細信息
FOXIN-TG多弧離子鍍膜機型號（直徑2m以內）
性能型號
TG-1418
TG-1620
TG-1820
TG-2021
TG-2023
TG-2040
真空室尺寸:mm
Ф1400×H1800
Ф1600×H2000
Ф1800×H2000
Ф2000×H2100
Ф2000×H2300
Ф2000×H4000
真空室結構
立式開門、吊裝或臥室推車結構配置抽氣系統及水冷系統
真空獲得系統
維持泵+機械泵+羅茨泵+擴散泵或分子泵（具體型號可根據客戶的要求進行配置）
真空測量系統
一臺皮拉尼(MKS) 一臺冷陰極(MKS) 一臺薄膜規(MKS)
電源類型
直流電源、中頻電源、脈沖電源（偏壓電源、弧電源）
極限真空指標
空載冷態 1.0一6.0×10-4Pa
電弧源
16臺-24臺
16臺-24臺
18臺-26臺
18臺-26臺
22臺-28臺
22臺-32臺
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
偏壓電源
40KW/1臺
40KW/1臺
40KW/1臺
50KW/1臺
50KW/1臺
60KW/1臺
磁控電源
1臺-2臺
1臺-2臺
2臺-3臺
2臺-3臺
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工件轉動方式
多軸行星式公自轉、變頻調速（可控可調）
工件烘烤溫度
常溫-至450℃可控可調（PID溫控）
工藝氣體
3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統選配自動加氣系統
冷卻方式
水冷卻循環方式，另配工業冷卻水塔或工業冷水機（制冷機)或深冷系統。（客戶提供）
控制方式
PLC+觸摸屏操作或計算機控制，手動、半自動、自動方式、
供給指標
氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、
報警及保護
對泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警，并執行相應保護措施及電氣聯鎖功能。
整機總功率
100~125KW
125~145KW
145~165KW
165~185KW
185~200KW
200KW以上
輸出頻率
電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據客戶國家用電標準配置）
設備占地面積
15~50m2
15~50m2
25~55m2
25~55m2
35~55m2
35~55m2
備注
可根據用戶要求設計制造非標設備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對靶等。
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