水平式多晶制絨硅片清洗機供應商,首選蘇州晶洲裝備
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單晶制絨和多晶制絨
單晶主要是槽體的清洗。因為槽體的潔凈度直接影響到絨面質量和發白水紋印與否。槽體清洗包括制絨槽和水槽,產線負責制絨槽的清洗,工藝嚴格監督。水槽由我們自己清洗,包括前面制絨的1,2,3,9,10號和后面的2,4,5,6號。必須每班進行換水并清洗。
另外要杜絕未去膜或是沒洗凈的返工片進入制絨槽,這樣做會嚴重污染槽體,后果不堪設想。
多晶主要是配槽時的清洗。
?清洗進水一定要到位。
?清洗過程中泵浦一定要打開。
?堿槽要及時清洗擋板和滾軸上的結晶,防止卡片。
單晶制絨
?盡量早點換9號槽和后道6號槽水槽,這倆槽加熱緩慢,最好在停產后立馬換槽,保證不影響下班的生產。
?鼓泡,溢流等設置是否被產線人員亂改。
?提醒工序長不要把留存片放在9號槽,這樣會影響換槽。
?HCL槽是否進水到位。
多晶制絨
?換槽洗槽配槽由產線員工操作,工藝要在一旁監督協助。
? 放片之前要測減薄量,且帶速控制在 1.10m/s左右。
? 剛接班那段時間由于產線停了較長時間,減薄量會小(0.25~0.35g),片子會偏暗,要少量多次并結合減薄量絨面狀況進行補酸操作。一般一個小時之內會慢慢穩定下來。
?關于手動加酸的問題。