三坐標平臺的結構材料對其測量精度、性能有很大影響，隨著各種新型材料的研究、開發和應用，三坐標平臺的結構材料也越來越多，性能也越來越好。
三坐標平臺主要是使用高強度鋁合金。這是近幾年發展最快的新型材料。鋁材料的優點是質量輕、強度高、變形小、導熱性能好，并且能進行焊接，適合作測量機上的許多部件。應用高強度鋁合金是目前的主要趨勢。
工作面硬度為HB170-240，經過兩次人工處理(人工退火600度-700度和自然時效2-3年)使用該產品的精度穩定，耐磨性能好。
三坐標平臺規格：100mm×100mm—3000mm×6000mm
三坐標平臺使用與維護：
1.用時小心、謹防碰撞。
2.用完后擦凈，涂無水酸性的防銹油，籠蓋防潮紙，置于清潔干燥處存放。
3.三坐標平臺使用前用無侵蝕性汽油，將工作面的防銹油洗凈，并用脫脂棉紗擦拭干凈，方可使用。
4.三坐標平臺溫度變化會使丈量產生誤差，應在20±50C范圍內使用。
5.三坐標平臺使用時用水平儀調整到水平，使支點平均分布各支點上。