多功能離子鍍膜設備:
該系列設備主要是(集)直流磁控濺射,中頻濺射和電弧電子蒸發三種技術融合一體,結合線性離化脈沖偏壓可使沉積顆料細化,膜層各項性能提高,能在金屬制品及非金屬表面鍍制合金膜、化合物膜、多層復合膜等。經公司技術人員多年專注研發,通過特有的陰極電弧離子和非平衡磁控系統,并開發出整套PROPOWER系列計算機自動控制系統,使鍍膜膜層附著力致密度、從復度一致性好等特點,解決了人工手動操作復雜性、膜層顏色不一致等問題。廣泛適用于手表、手機殼、五金、潔具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。鍍制Tin、TiCN、CrN、TiALN、TiCrN、ZrN、TiNC及各類金屬石膜(DLC)。
1、磁控濺射的原理是基于陰極輝光放電理論,把陰極表面磁場擴展到接近工件表面,提高了濺射原子離化率。既保留磁控濺射的細膩又增強了表面光澤度。
2、電弧等離子體蒸發源性能可靠,在優化陰極及磁場結構鍍膜時可在30A電流下工作,鍍膜膜層和基底界面產生原子擴散,又具有離子束輔助沉積的特點。
型號JTZ-800 JTL-1000 JTL-1250
真空室尺寸¢800×1000MM ¢1000×1000MM ¢1250×1100MM
鍍膜方式及主要配置
六個多弧源+一套圓柱靶+一套平面矩形磁控濺射靶
八個多弧源+一對孿生(中頻)磁控濺射靶+一套平面矩形磁控濺射靶
十二個多弧源+一對孿生(中頻)磁控濺射靶+兩套平面矩形磁控濺射靶
鍍膜方式及主要配置
電弧電源、直流磁控電源、中頻磁控電源、燈絲電源、脈沖電源、線性離化源
工藝氣體控制 質量流量計+電磁陶瓷閥
真空室結構 立式側(單)開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷
真空系統組成 分子泵+羅茨泵+機械泵(5.0×10-4PA)
工件烘烤溫度 常溫到500度可調可控(PID控溫),輻射加熱
工件運動方式 公自轉變頻調速,0~20轉/分
測量方式 數顯復合真空計:測量范圍從大氣至1.0×10-5PA
控制方式 手動/自動/PC/PLC+HMI/PC四種方式可選
備注 以上設備可按客戶實際及特殊工藝要求設計訂做