真空系統(tǒng)螺桿式干式真空泵(詳情請(qǐng)參考我公司網(wǎng)：www.zbliuti.com)主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、齒輪、冷卻循環(huán)和密封件構(gòu)成。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過高精度的同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。一對(duì)旋向相反.由泵的兩端蓋的軸承支撐旋轉(zhuǎn)的螺桿，將被抽氣體吸入，通過氣體吸入.壓縮.排氣三個(gè)過程，達(dá)到抽氣的目的。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的替代產(chǎn)品。
螺桿式真空泵分為等螺距和變螺距干式羅桿真空泵，螺桿式真空泵設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行高效，螺桿與軸一體加工。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油，直通氣路設(shè)計(jì)，該系列泵可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。
干式螺桿真空泵的典型應(yīng)用：
  ? 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝、半導(dǎo)體刻蝕工藝
  ? 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等
  ? 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染
  ? 化學(xué)和醫(yī)藥流程
  ? 溶劑回收
  ? 成型、結(jié)晶、干刻、濺鍍、蒸氣回收、空中模擬