工業廢氣由管道經過防爆裝置進入降壓段，降低風速后進入等離子段，《等離子體是不同氣態、固態、液態的第四態物質，由高能電子、正負離子、自由基(0H、H、0、03，等)和中性粒子等組成。等離子分為平衡等離子和非平衡等離子，低溫等離子體主要由氣體放電產生的氣體經過等離子氣體凈化裝置的反應器區域時，等離子體中的活性自由基可以有效的破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而導致其死亡。選用特定的光催化劑TiO2，在特定波長的高能UV紫外線的照射下產生催化作用，使周匿的水分子及空氣激發生成極具活性的.OH自由基、H0、臭氧0等。這些基團氧化能力很強，能裂解氧化噴漆廢氣中揮發性有機物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質裂解、氧化為低分子無害物質，其去除效率可99%。