上海網磁電子有限公司專業供應美國原裝、全新 的質量流量計-MFC,BROOKS。專業用于制造 單晶硅爐和多晶硅爐設備上面使用,適用的氣體 有氮氣、氬氣、氫氣、氧氣等純凈氣體。 氣體的最大量程:50-120SLM,數字和模擬兼容 電氣接口:D型15針 管道接口:3/8"VCR 交貨周期:4周左右,長期訂貨,周期還會短。 可以完全替代和兼容MKS的相關流量計。 Analog I/O Option: ? 15-pin D-Connector ? 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals ? Single sided 24 Volt DC power supply (13.5-27 volts DC range). ? Separate Valve-Override signal ? Precision 5 Volt Reference Output signal ? Compatible with Brooks' Model 0150 series secondary electronics ? TTL (open collector) Alarm Output signal Digital Communication Options: