商品描述:
MA40系列大平臺工業(yè)顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
MA40系列特點說明
1. 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2. 拓展了物鏡的復用技術(shù),無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4. WF10X(Φ25)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
MA40系列 技術(shù)規(guī)格
觀察頭
30°鉸鏈式三目(50mm-75mm)
目鏡
WF10×/25mm
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
轉(zhuǎn)換器
帶DIC插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器
物鏡
平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡:
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
平臺
雙層移動平臺
平臺尺寸: 350mm×310mm
移動范圍:250mm×250mm
濾色片
插板式濾色片(綠、藍、中性)
調(diào)焦
粗、微動同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動機構(gòu) 微動格值0.002mm
光源
落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,
鹵素燈12V/100W,
AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
偏光裝置
檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測工具
0.01mm測量軟件
可供附件
目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡
平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm
80×/0.75B.D/W.D.4mm
100×/0.80B.D/W.D.3mm
二維測量軟件
專業(yè)金相圖像分析軟件
DIC(10×、20×、40×、100×)
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
壓平機
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