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      三次元測量儀溫度變化也是產(chǎn)生變形的主要因素,量具、儀器和工件在測量前必須有一段時間在規(guī)定的溫度范圍內等溫。測量過程中環(huán)境溫度波動要小,必須恒定在規(guī)定的范圍內;盡可能不直接用手接觸量具、儀器和工件。
      三次元在高精度測量時,還需將人與儀器隔離。如接觸式干涉儀使用時,需用隔離屏將人的呼吸與儀器隔離,操作時帶手套,測量時用導熱系數(shù)低的木夾子夾帶工件。對于高等級的量塊、線紋尺陳有很高的環(huán)境要求外還要對其溫度進行測量并加以修正。
      由于標準器的溫度和膨脹系數(shù)與被測件的溫度和膨脹系數(shù)不一致引起的測量誤差,在比較測量時,平面形工件采用球面測頭,圓柱形工件采用刀口或圓柱測頭,因為測量力和接觸的形式不同,影像測量儀對接觸變形的影響也不同,所以在高精度測量時,必須準確選擇測量力和測頭工作面半徑,并在測量結果中進行接觸變形誤差修正。
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