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  影像測量儀一般由計算機、機械、圖像采集、照明、測長和測量軟件等六部分組成。影像測量儀的光學原理與普通投影儀類似,然而影像被測件的輪廓影像被CCD傳感器接收并由計算機進行圖像采集和處理,投影儀是直接把影像投射到投影觀測屏,輪廓對準有操作者的人眼完成,因而兩者自動化程度和測量精度相差很大。
    在影像測量儀上的測量都是單軸或二維平面坐標的測量,測量時先對焦,后對準,再讀數,最后由計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠顯微鏡光學系統。在以影像法測量工件樣品的單一的非重復結構的幾何尺寸時,光照明條件的改變將會直接影像被測尺寸,除非測量的是重復圖形的間距,光強的變化才可以忽略。
    還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源,基于影像方法的測量儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,那測量的結果會要偏離其真實尺寸。照明光源除了常見的底光和頂光外,還有環形照明光,適合于底光和頂光都不能有效照明時應用。
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