概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

·                半導體制程

·                真空蒸餾

·                真空包裝

·                鋼脫氣

·                薄膜覆層

·                真空冶金

·                低密度風洞

·                空間模擬

·                真空浸漬

·                油干燥和脫氣

·                制藥冷凍干燥

·                CO₂ 激光

功能和優勢

·                適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應用場合。

·                它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

·                EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

o      安靜的無振動運行。

o      牢靠且防腐蝕。

o      先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

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