概述
T-Station 75 是 Edwards 新推出的入門級渦輪泵系統(tǒng)。它包括我們經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的 EXT75DX,搭配油封的 E2M1.5 前級泵或 XDD1 隔膜泵,適用于需要完全干燥的應(yīng)用。
T-Station 使用新的 TAG(Turbo 和有源真空計(jì))控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)通過單按鈕啟動/停止、可控制其中一個有源真空計(jì)*、排氣閥控制*以及在真空計(jì)讀數(shù)匹配時延時或降壓啟動,因此 T-Station 非常適合一般的實(shí)驗(yàn)室需求。
* 真空計(jì)和 TAV5 排氣閥必須單獨(dú)購買。
應(yīng)用
·                一般實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用
·                光譜學(xué)
·                表面分析
·                小型鍍膜系統(tǒng)
·                真空渦輪制造
特性與優(yōu)勢
·                  完全組裝,隨時可用
·                通過集成的控制器控制渦輪泵、前級泵和可選的真空計(jì)
·                NW40、ISO63 或 CF63 入口法蘭
·                選擇前級泵、E2M1.5 油封泵 T-Station 75W 或 XDD1 隔膜泵 T-Station 75D
·                延時渦輪啟動選件,以便泵送更大容量
N2 抽速
 
NW40
42 ls-1
ISO63/CF63
61 ls-1
N2 壓縮比
> 1 x 1011
50Hz 時的前級泵速度
 
E2M1.5
1.6 m3h-1
XDD1
1.2 m3h-1
極限壓力
< 5 x 10-8 mbar
進(jìn)氣口法蘭
NW40、ISO63 或 CF63
排氣口法蘭
 
E2M1.5
11mm OD 噴嘴或 3/8 英寸 BSP
XDD1
裝配消音器或 1/8 英寸 BSP
重量
 
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