概述

寬量程真空計(jì) (WRG) 系列在從大氣壓到 10^-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測(cè)量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對(duì)很多應(yīng)用來說是非常重要的優(yōu)勢(shì)。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn)，包括新的專利放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和全面的診斷功能。WRG 是經(jīng)濟(jì)高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。

應(yīng)用

·                任何需要在很寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)的非常簡(jiǎn)單和極為經(jīng)濟(jì)高效的手段。

·                對(duì)于可能要將真空計(jì)直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言，線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。

·                WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用領(lǐng)域中使用。但是，如果制程在 5x10^-4 和 5x10^-3mbar 之間花費(fèi)的時(shí)間非常多，Edwards 建議采用獨(dú)立的 APG100 皮拉尼真空計(jì)和 AIM 潘寧真空計(jì)，因?yàn)檫@樣將提高真空計(jì)在應(yīng)用中的可靠性。

功能和優(yōu)勢(shì)

·                微處理器信號(hào)處理允許在皮拉尼和磁控管輸出以及線性輸出之間無縫轉(zhuǎn)換（記錄壓力刻度）

·                D 型包括電纜應(yīng)變消除和增強(qiáng)的灰塵防護(hù) - IP44

·                低磁場(chǎng)型 (SL) 適用于敏感性應(yīng)用，例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡

·                可輕松編程的設(shè)定點(diǎn)涵蓋整個(gè)測(cè)量范圍

·                磁控管使用先進(jìn)的專利技術(shù)進(jìn)行高度可靠的放電，即使在高真空或相對(duì)污染的環(huán)境下也無妨

·                自動(dòng)為皮拉尼真空計(jì)元件進(jìn)行真空設(shè)置

·                單一按鈕大氣設(shè)置

·                通過降低點(diǎn)火后的 HT 電壓以及采用低放電電流，延長(zhǎng)了維修間隔和真空計(jì)壽命

·                結(jié)構(gòu)極為緊湊，采用凹進(jìn)式電氣接頭

·                易于維修；皮拉尼和磁控管元件均可以單獨(dú)更換

·                綜合性故障模式診斷裝置

技術(shù)數(shù)據(jù)

壓力范圍

大氣壓至 10^-9 mbar/Torr

準(zhǔn)確度 *

通常為 ±15% < 100 mbar 以及 ±30%< 10^-3 mbar

最大過壓