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儀器校準質譜儀又稱質譜計。分離和檢測不同同位素的儀器。即根據帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理,按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。
質譜儀的結構:質譜儀的組成除了在測量原理中介紹的質量分離部件外還包括以下幾部分。
 1.電學系統。電學系統包括供電系統和數據處理系統。
 2.離子源。離子源的作用是把樣品中的原子(分子)電離成離子,目前已經有十幾種離子源,分別采用粒子轟擊、場致電離、氣體放電、離子-分子反應等工作原理。
 3.真空系統。真空系統的作用是使進樣系統、離子源、質量分離部件和檢測器保持一定的真空度,以保證離子在離子源及分析系統中沒有不必要的粒子碰撞、散射效應、離子-分子反應和復合效應。
 4.檢測器。檢測器的作用是檢測從質量部件中出來的電子,即接收離子后將其變成電流,或者濺射出二次電子且被逐級加速倍增后成為電信號輸出。檢測器一般采用法拉第筒、電子倍增檢測器、后加速式倍增檢測器。
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