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熱偶真空計(jì)是利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。
熱偶真空計(jì)的主要優(yōu)點(diǎn)為:
(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制造方便,成本較低;
(2)能測(cè)量氣體和蒸汽的全壓強(qiáng);
(3)在使用過(guò)程中,如真空系統(tǒng)突然漏氣也不致?lián)p壞;
(4)能進(jìn)行連續(xù)測(cè)量,與自動(dòng)記錄儀配合,能自動(dòng)記錄被測(cè)真空度。
其主要缺點(diǎn)為:
(1)環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量結(jié)果有一定影響,測(cè)量結(jié)果還與氣體種類(lèi)和成分有關(guān);
(2)隨著加熱絲表面情況的變化,加熱電流也隨之發(fā)生變化,影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性;
(3)熱慣性較大,一般為幾秒至幾十秒,在被測(cè)真空度變化很快時(shí),指示儀表的讀數(shù)將滯后于實(shí)際真空度的變化。
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