CNT等離子體增強沉積爐是專業生長高質量石墨烯、碳納米管、二維硫化鉬的專用設備,也可用用于碳化硅、金屬薄膜、陶瓷薄膜其他材料的生長,已經廣泛應用于航空航天、微電子、生物醫藥、納米材料等領域。
等離子體增強沉積爐主要由預熱爐(用于氣體預熱、固體原料蒸發)、等離子射頻發生器、高溫生長腔體、石英管、石英支架、氣路系統、真空系統、自動化控制系統、冷卻系統等組成。
1、預熱爐可以給進入真空腔體的氣體或材料提前預熱、固體原料蒸發,預熱溫度范圍室溫~800℃(可根據工藝的實際需要進行調整);
2、等離子射頻發生器,輸出功率5 -500W可調,頻率:13.56 MH
3、生長腔體采用進口高純石英管,配石英支架,
4、加熱腔體采用進口陶瓷纖維加熱器,均溫區600mm、對開式結構;
5、加熱爐體配有移動滑軌,可左右移動;
6、密封法蘭均采用不銹鋼材質,配水冷套,可連續長時間工作;
7、氣路系統采用多路質量流量計,配預混系統;
8、真空系統采用機械泵,可選配擴散泵或分子泵機組;
9、控制系統采用10寸觸摸屏加西門子PLC模塊;
10、氣體種類:N2、H2、CH4、C2H4D、He/Ar、C2H2、NH3、N2,H2、PH3、GeH4、B2H6等
11、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制,通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數,自動保存實驗參數,也可采用手動控制
12、系統采用集成化設計,控制系統、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個可移動輪子,方便整體移動。
 技術參數: