國家有色金屬及電子材料分析測試中心引進了美國Thermo Fisher公司最新型號的Element GD輝光放電質譜儀(GDMS),適用于金屬中ppb級及其以上含量的雜質分析,可以檢測5N、6N高純鋁、銅、鋅、鎳、鈷、多晶硅中的痕量和超痕量雜質元素。
    樣品要求:
1.厚度5~15mm,最厚不要超過40mm;
2.直徑最大不超過40mm,最小不小于16mm;
3.表面要求:車床車出來的就可以,表面粗糙度不大于3.2。當然,越光滑越好
 
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