PlasmaSources等離子體源系列
法國SAIREM公司是擁有40多年的微波和射頻工程經驗的高科技公司,可為用戶定制電子設計、應用開發、工藝設計和生產標準化的微波、射頻、直流發生器、等離子體源等相關產品。
微波技術在等離子體實驗室和工業中不斷發現新的應用,這是由于微波等離子體的許多優點,例如,超密度等離子體-離子和活性物種,電極更少,在各種壓力下的操作。微波輔助等離子體在金剛石沉積、表面活化、殺菌、納米材料合成、氣體凈化等方面的應用。
為了滿足這些復雜技術所要求的越來越苛刻的要求,我們已經開發出了自己的等離子體源和反應器。
我們可以提供關于選擇等離子設備和適合你需要的微波頻率的建議,.欣源科技(北京)|||同軸ECR等離子體源微波頭銷售
,還可根據要求提供特殊配置,并且樂于幫助開發您自己應用的設備。
主要應用領域:
分析
金剛石沉積
表面清洗
蝕刻
防止污染
化學合成
(301)Downstream等離子體源
這種表面波的等離子體源產生等離子體,在一個標準的WR340波導中(直徑20-60毫米)。這種等離子體源可以根據壓力、微波功率和等離子氣體的性亍質,使長等離子體的點火和維持。
壓力范圍:10-2mbar到大氣壓力
氣體類型:Ar,N疒2,O2,空氣,……
最大功率:6kW
應用類型:自由基/反應性物種的產生,欣源科技(北京)有限公司,欣源科技(北京),表面激活,PECVD,氣體減排,氣化,滅菌(UV),納米粒子合成
(302)Sur-fa-guide等離子體源
壓力范圍:mbar到atm
主要用于:氣體減排、氣化、滅菌、納米粉合成、表面活化、大氣高溫化學
(303)AURAW-A-V-E同軸ECR等離子體源(低壓等離子體)
KF/CF法蘭,氟橡膠密封圈/無氧銅密封圈,搭配固態微波發生器,.欣源科技(北京)|||同軸ECR等離子體源微波頭銷售
,可組成陣列
(304)HI-W-A-V-E同軸碰撞型等離子體源(中壓等離子體)
KF/CF法蘭,氟橡膠密封圈/無氧銅密封圈,搭配固態微波發生器,可組成陣列
(305)S-W-A-V-E等離子體源(Sur-face W-A-V-Eplasmasource表面波等離子體源,搭配固態微波發生器),主要特點:
頻率2450MHz±50MHz
最大微波功率200W
集成到DBD點火系統(DielectricBarrierDischarge介質阻擋放電點火系統)
壓力范圍10-2mbar到大氣壓
Ar和基于Ar基混合物可在1atm下使用
所有氣體都可在更低壓力下使用
直徑6或8毫米的電介質管
Swagelok6mm氣體連接器
主要應用領域:表面活化、元素分析、原子層沉積、氣體減排、分子激活/物質活化、殺菌消毒、減少細菌附著、慢性傷口和受感染皮膚的治療
欣源科技SYNERCE獨家代理法國SAIREM產品系列,包括:
微波發生器(微波電源)2.45GHz系列、微波發生器(微波電源)915MHz系列、等離子體源(PlasmaSources、微波頭)、微波化學系列MWChemistry、射頻發生器(RF發生器、射頻電源)、用于等離子體的直流電源DC系列、微波等離子體專用水冷機系列
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