SM5812/SM5852壓阻式壓力傳感器
SM5812和SM5852系列為硅微結構OEM壓力傳感器,結合了先進的COMS數字信號處理技術及最先進的壓力傳感器加工技術生產的具有放大、充分校準、多階壓力修正和溫度補償雙列直插式封裝的高性能壓力傳感器。
使用先進的硅微結構壓力傳感器,并集成信號調節ASIC技術,大大的簡化了高性能壓力傳感器的使用。SM5812和SM5852系列高性能壓力傳感器可以直接安裝在標準的PCB板上,經過放大、高精確性、校準過的壓力信號可以通過數字接口或者模擬輸出。這可以省去額外的電路,例如補償電路或者自定義的微控制器校準電路。
SM5812和SM5852系列壓力傳感器基于SMI高穩定性安裝在陶瓷基板上的壓阻式壓力芯片,一個可編程ASIC邏輯器件提供了校準和溫度補償。
特點 應用
? 放大、校準和溫度補償高輸出跨度(0.5V至4.5V信號)
? 數字溫度和校準壓力可通過I2C接口
? 輸出電壓與輸入電壓成比例
? 雙列直插式封裝易于使用
? 多階壓力、溫度非線性修正(工廠編程)
? 多級滿量程溫度系數和零點溫度系數校準(工廠編程)
? 表壓、差壓和絕壓高性能傳感器 ? 氣壓測量
? 醫療器械
? 氣動控制
? 氣體流量
? 呼吸器和通風設備
? 暖氣、通風及空調
性能參數
所有參數在室溫25℃,5V直流恒壓源供電的條件下測量而得,除非另外規定。
絕壓、表壓和正差壓 差壓
最小值 典型值 最大值 最小值 典型值 最大值 單位
零點輸出(絕壓和表壓) 0.42 0.50 0.58 V
零點輸出(差壓) 2.42 2.50 2.58 V
滿量程輸出
0.15psi滿量程輸出 3.92 4.00 4.08 1.96 2.00 2.04 V FS
3.80 4.00 4.20 1.90 2.00 2.10 V FS
線性度
0.15psi 線性度 -0.5 +0.5 -0.5 +0.5 %FS
-2.5 +2.5 -2.5 +2.5 %FS
壓力遲滯性 5812
5852 -0.1 +0.1 -0.1 +0.1 %FS
-0.3 +0.3 -0.3 +0.3 %FS
零點溫度系數
0.15psi溫度系數 -1.0 +1.0 -1.0 +1.0 %FS
-2.5 +2.5 -2.5 +2.5 %FS
滿量程溫度系數
0.15psi滿量程溫度系數 -1.0 +1.0 -1.0 +1.0 %FS
-2.0 +2.0 -2.0 +2.0 %FS
熱遲滯性 -0.1 +0.1 -0.1 +0.1 %FS
響應時間 2 2 ms
供電電壓 4.75 5.00 5.25 4.75 5.00 5.25 V
耗電電流 10 10 mA
過壓 5812
5852 3X 3X %FS
15X 15X %FS
工作溫度 -40 25 +125 -40 25 +125 ℃
補償溫度 0 25 +70 0 25 +70 ℃
存儲溫度 -55 25 +135 -55 25 +135 ℃
備注:
1、 只有SM5812系列才有絕壓類型
2、 壓力類型S(Pressure Type-S)有兩個接氣端口,用于高增益正差壓
3、 輸出與輸入電壓成正比
4、 滿量程是指零壓力與額定壓力之差,差壓可以使用±FS。絕壓和表壓零點輸出標準值為0.5V,滿量程輸出為4.5V,跨度有別于滿量程輸出和零點輸出。對于差壓壓力傳感器而言,負壓力的滿量程輸出標準值為0.5V,零點輸出標準值為2.5V;正壓力滿量程輸出標準值為4.5V ±2.0 V跨度輸出
5、 低于額定壓力(低于0)時飽和放大器輸出約為0.25V,高于額定滿量程壓力時飽和放大器輸出約為4.75V
6、 一個100nF的濾波電容必須放置于地與供電腳之間
7、 所測介質必須是清潔、干燥并與材質兼容,材質包括高硼硅玻璃、硅、氧化鋁陶瓷、環氧、RTV電子硅膠、黃金、鋁和鎳