MM-158 作為高級金相顯微鏡具有其超強性能,主要針對半導(dǎo)體制造業(yè),電子產(chǎn)業(yè),冶金及科研行業(yè)而開發(fā)的。本儀器采用了透射和反射兩種照明方式,在反射照明下可實現(xiàn)明暗場觀察及DIC微分干涉觀察,偏光觀察。在透射光下作明場觀察。采用了UIS高分辨率,長工作距離無限遠(yuǎn)光路校正成像技術(shù)。光源采用非球面Kohler照明,為深色物體觀察提供了亮度保證。25mm超大的視野目鏡提供了更清晰的圖像質(zhì)量。
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類別 放大倍率 視場直徑(mm)
平場大視野目鏡 WF10× ф25
十字刻度目鏡 WF10× ф20
2. 物鏡:
長距離明暗場物鏡 數(shù)值孔徑NA 工作距離
PL5X BD 0.1 29.4
PL10X BD 0.25 16
PL20X BD 0.40 10.6
PL40X BD 0.6 5.4
3. 三目鏡筒:
鉸鏈?zhǔn)剑瑑A斜30°,瞳孔距離50mm-75mm
4. 同軸粗微動調(diào)焦機構(gòu):
調(diào)焦范圍25mm 微動格值2μm,單手指微調(diào)裝置
5. 雙層機械機械工作臺:
工作臺尺寸:189mmX160mm,縱向移動: 50mm 橫向移動:80mm
6. 照明光源:
落射照明:12v50w鹵素?zé)?nbsp;亮度可調(diào) ,科勒照明,帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片及濾色片
透射照明:12v50w鹵素?zé)?nbsp;亮度可調(diào) ,阿貝聚光鏡、內(nèi)置視場光欄
7. 偏光裝置:
可插入式起偏振鏡及檢偏鏡,檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn),起偏鏡和檢偏鏡均可以移出光路。
8. 濾色片:
藍(lán)、綠、磨砂
9.轉(zhuǎn)換器:
四孔帶DIC插孔
三、系統(tǒng)組成
電腦型金相顯微鏡(MM-158C): 1、金相顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像機(CCD) 4、圖像采集軟件 5、計算機(選配)
數(shù)碼型金相顯微鏡(MM-158D): 1、金相顯微鏡 2、數(shù)碼適配鏡 3、數(shù)碼照相機
四、可選附件
1.專業(yè)定量金相分析軟件 MA3000
2.二維測量軟件 WH300
3.試樣壓平器 YP05
4.高分辨率成像系統(tǒng)
5.明暗場物鏡 50倍 80倍 100倍
6.100瓦落射照明裝置
7.DIC(10X 20X 40X 100X)
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