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“云和縣W01-358-7550橡膠氣囊”由空氣彈簧頻率計算公式可以看出,當空氣彈簧的容積愈大時,其剛度愈低,因此,采用輔助氣室能減小空氣彈簧的剛度。橡膠空氣彈簧是一種氣囊減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受外部的噪音及振動帶來的干擾。
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