熱式流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。熱式流量計有兩個溫度傳感器被置于介質中時，其中一個傳感器被加熱到環境溫度以上的的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。介質流速增加，介質帶走的熱量增多，兩個溫度傳感器的溫度差將隨介質的流速變化而變化，根據溫度差與介質流速的比例關系，可得出流體的流量Q。熱式流量計目前絕大部分用于測量氣體，只有少量熱式流量計用于測量微小液體流量。熱式流量計的適用范圍：熱式流量計較多應用于半導體工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工業、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所，同時，熱式流量計被廣泛應用于鋼鐵廠、焦化廠、石油、化工、熱力、醫療、熱電廠、環保等行業。熱式流量計的技術參數：測量范圍：用0-20厘米/秒到1-100厘米/秒可連續調準。（與水相關，對于其它介質，范圍擴張）測量時間：2-10秒，按照測量條件線性偏差：<5%(配合斜率)重復能力公差：<2%電源電壓：24V直流±10%電阻負載：0-600歐姆熱式流量計的工作原理：熱式流量計是一種直接式質量流量計，它可以用來測量質量流量，當流體靜止時，管道內加熱元件的上下游溫度對稱分布，元件指示溫度相等。當介質流動時，下游溫度比上游的溫度高。伴隨著流速增加，溫差增大，當流速增加到某一界限值之后，兩元件的溫差將隨流速的增加而逐漸減小。為了得到儀表的單值性，一般測小流量用溫差增大的特性，測大流量用溫差減小的特性。