廣州氣體流量傳感器公司,專業(yè)測量微小氣體流量傳感器。微型氣體質(zhì)量流量計,始動流量小,極小氣體流量可以計量 廣東微型氣體流量傳感器|廣州氣體流量傳感器|廣州微小氣體傳感器 HFS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出,通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。 產(chǎn)品特點: ? 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量 ? 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量 ? 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高 ? 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 ? 零點穩(wěn)定度高 ? 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性 ? 低功耗、低壓損 ? 響應(yīng)速度快 型號:HFS4001 流量范圍:0~30,100,200,500,1000, sccm 量程比:>100:1 精度:±(1.5±0.5FS)% 重復(fù)性:±0.25% 零點輸出飄逸:±30 mV 輸出飄逸:0.2 %/oc 響應(yīng)時間:4,8,16,33,65,131 ms 工作電源:8~18Vdc,50mA 輸出方式:RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損:350 300 Pa 最大流量壓力:0.5 MPa 工作溫度:-5~+55 oC 存儲溫度:-20~+65 oC 工作濕度:
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