Aerotech超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)

1.Aerotech超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)概述


Aerotech制造了龐大的精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)產(chǎn)品線供您選擇，型號(hào)包括使用我們自己的內(nèi)置無(wú)刷旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，以及蝸輪蝸桿驅(qū)動(dòng)的定位轉(zhuǎn)臺(tái)。其中精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)包括精密空氣(氣浮)軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)和精密機(jī)械軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)。轉(zhuǎn)臺(tái)具有許多不同尺寸的通孔直徑、臺(tái)面直徑以及安裝選項(xiàng)，為您的工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用提供理想的解決方案。平臺(tái)的擺動(dòng)、跳動(dòng)、角度定位和速度穩(wěn)定性都非常出色。Aerotech的定位平臺(tái)非常適合用于工業(yè)機(jī)器人、光纖光學(xué)和光子學(xué)、視覺(jué)系統(tǒng)、機(jī)床、裝配、半導(dǎo)體設(shè)備、醫(yī)療部件激光加工、超精密微細(xì)加工、硅片檢查、電子制造業(yè)、hang空電子設(shè)備等高性能應(yīng)用以及其他工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用。此外，Aerotech制造的高性能驅(qū)動(dòng)器和控制器可與我們的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)完美匹配，為您提供完美的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。
分辨率可達(dá)0.027-5.5arc-sec 
雙向重復(fù)性小于1arc-sec 
定位精度可達(dá)±2arc-sec

Aerotech超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)：張1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ABRT-400空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)|ABRT-400Air-BearingDirect-DriveRotaryStage|ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)


ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的核心。ABRT-400是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周?chē)幕◢弾r結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過(guò)真空或空氣，并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。


ABRT-400可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定，X射線衍射，蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。


RotaryStage|ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)


ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的核心。ABRT-400是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周?chē)幕◢弾r結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過(guò)真空或空氣，并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。


ABRT-400可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定，X射線衍射，蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。
特點(diǎn)規(guī)格
●精度：<0.6微弧度（<0.12弧秒）
●zui小增量步距：0.035微弧度（0.007弧秒）
●重復(fù)性：<0.4微弧度（<0.08弧秒）
●軸向運(yùn)動(dòng)誤差：<50納米同步<10納米異步
●徑向運(yùn)動(dòng)誤差：<75納米同步<10納米異步


空氣軸承旋轉(zhuǎn)主軸
ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的核心。ABRT-400是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周?chē)幕◢弾r結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過(guò)真空或空氣，并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。


ABRT-400可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定，X射線衍射，蛋白質(zhì)結(jié)晶或高精度加工應(yīng)用。


AerotechABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)：張1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)|ABRSAir-BearingDirect-DriveRotaryStage|ABRS系列精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)
Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)空氣軸承平臺(tái)提供卓越的角度定位，速度穩(wěn)定性和低運(yùn)動(dòng)誤差性能在一個(gè)非常低矮的封裝結(jié)構(gòu)中。ABRS旨在滿足晶片檢查，高精度計(jì)量，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造，以及微機(jī)電系統(tǒng)/納米器件的制造等應(yīng)用的嚴(yán)苛要求。


AerotechABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)提供出色的角度定位，速度穩(wěn)定性和無(wú)誤差運(yùn)動(dòng)性能，并且擁有非常低矮的外形。


●直驅(qū)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)
●非機(jī)械接觸
●零齒槽效應(yīng)電機(jī)帶來(lái)顯著的速度穩(wěn)定性
●顯著的無(wú)誤差無(wú)抖動(dòng)運(yùn)動(dòng)特性
●直接耦合的高精度編碼器
●扁平設(shè)計(jì)的低矮外形
●直徑：128.1-278.1mm
●分辨率：0.036-0.18arc-sec
●雙向重復(fù)性：<1arc-sec
●定位精度：±2arc-sec


AerotechABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)：張1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ARA1000空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)|ARA1000Air-BearingDirect-DriveRotaryStage|ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
Aerotech的ARA1000旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用，如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定，限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000通過(guò)設(shè)計(jì)，顯著提高了平臺(tái)剛性，消除了這個(gè)問(wèn)題。ARA1000轉(zhuǎn)臺(tái)采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿過(guò)真空線路。臺(tái)面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式，其允許非常容易地進(jìn)行卡盤(pán)安裝。


Stage|ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
Aerotech的ARA1000旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用，如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定，限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000通過(guò)設(shè)計(jì)，顯著提高了平臺(tái)剛性，消除了這個(gè)問(wèn)題。ARA1000轉(zhuǎn)臺(tái)采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿過(guò)真空線路。臺(tái)面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式，其允許非常容易地進(jìn)行卡盤(pán)安裝。
特點(diǎn)規(guī)格
●高承載能力
●高剛性
●直接驅(qū)動(dòng)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)
●大孔徑
●與AVL1000升降平臺(tái)輕松配置多軸應(yīng)用


AerotechABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)：張1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ABRS旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái)
1專(zhuān)為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)）
4卓越的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 


AerotechABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)：張1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8
 
ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái)
1專(zhuān)為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，高扭拒輸出
3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)）
4卓越的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6超大的空心軸徑，無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
  
AerotechABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)：張1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8