近年來,多功能集成化傳感器研究受到國內外的廣泛關注,國內外文獻報道,已經有用于環境監測、化學分析、生物保護等方面的集成傳感器。隨MEMS技術和比技術的不斷發展,實現傳感器的集成化、多功能化成為可能。1995年,黑龍江大學溫殿忠教授提出JFET壓/磁電效應基本理論,用標準的松弛方法研究了結型場效應晶體管的磁電效應。
      隨著傳感器及微電子技術的發展,人們可以在同一材料上制作幾種敏感元器件,制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結構形式:幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片,制成集成化多功能傳感器,該種傳感器集成度高、體積小,各個敏感元器件的工作氛圍相同,容易實現補償和校正,這是多功能傳感器發展的一個方向。
      幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器,可以同時測量幾個參數,各敏感元器件是獨立的,如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起.構成溫濕度多功能傳感器;用同一個敏感元器件的不同效應,得到不同的信息,如將線圈作為敏感元件,在具有不同磁導率或介電常數物質的作用下,表現出不同的電容和電感。同一個敏感元件在不同激勵下表現出不同特性,例如傳感器施加不同的激勵電樂、電流,在不同溫度下,其特性不同,有時可相串于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起,需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。多功能集成化傳感器將隨著工業等自動化行業得到進一步發展。如果以上資料還不夠清楚的可以留意我的官網 http://www.szsst.net/ 希望可以幫助你解決問題