高溫淬火制程實(shí)驗(yàn)方法-實(shí)驗(yàn)型專業(yè)顯微鏡
高溫淬火制程對(duì)提純冶金硅的影響
實(shí)驗(yàn)方法
矽塊粉碎及篩選
強(qiáng)力磁選機(jī)磁選
清洗烘乾
熱淬處理
超音波震盪
清洗烘乾
ICP-OES
成份分析檢測(cè)
選用 2202 冶金級(jí)矽塊，先經(jīng)粉碎機(jī)粉碎后作為此實(shí)驗(yàn)之矽粉原料。由于粉碎
矽粒尺寸不均勻及存在鋼刀磨耗鐵屑?xì)埩舻那樾危氏纫院Y網(wǎng)分篩出粒徑 0.25~0.5 mm
的矽粉，再經(jīng)由強(qiáng)力磁選機(jī)磁選以減低鐵之殘留量，最后使用無(wú)水酒精與超純水震盪清
洗、烘乾，始成為實(shí)驗(yàn)之矽粉原料。


熱淬處理制程是將矽粉放入熱處理爐升溫，當(dāng)矽粉達(dá)到設(shè)定溫度后迅速取出倒入溶
液中冷卻，以www.aosvi.com 達(dá)到淬火之目標(biāo)。以 2M 鹽酸溶液分冸進(jìn)行高溫水淬再酸洗、


直接高溫淬酸；以及選用 0.5 M 草酸直接進(jìn)行矽粉的高溫?zé)岽悖虿菟釋?duì)晶界的腐蝕性佳。清洗流
程乃將試樣放入溫度設(shè)定為 20 ℃ 之恒溫超音波震盪機(jī)中震盪，以冺酸液充分釋出，


然后再使用超純水將矽粉徹底洗淨(jìng)、烘乾，最后以 ICP-OES 進(jìn)行成份分析