Heatpulse 8108快速退火爐

原制造商：AG Associates               
設備類型：快速退火爐
AG Associates Heatpulse 8108系列快速退火系統具有成本低，適用面廣等優點。是專門為半導體器件生產廠家快速退火工藝設計制造的退火系統，被廣泛應用驗證。該系統采用自動傳片系統，(Video)適用于標準硅片、復合半導體材料和其他材料的晶片，晶片尺寸可從3英寸到8英寸。操作簡便，自動化程度高，已廣泛應用在半導體制造產業。
優越的工藝控制： 單片，閉環溫度控制； 快速升溫與降溫控制； 工藝重復性高； SLIP FREE 特殊晶片的自動載片系統和精確的溫度控制，SLIP RING可防止晶片結構在高溫狀態下邊緣(大于1150℃) 產生滑移 4組加熱燈可分別控制，提高溫場均勻性。 工藝用途： 離子注入后快速退火； 歐姆接觸快速合金； 硅化物合金退火； 氧化物生長； 其它快速熱處理工藝。

同管式高溫爐的比較：
一般管式高溫爐只能設定一個工藝條件，即一個溫度；工藝周期長，使用不太靈活；須24小時加電恒溫，能耗較高，適用于生產。快速退火爐，可以設定多個工藝條件，即多種溫度；工藝時間短，使用非常靈活；能耗很低；同一臺設備既可用作生產，也可用作科研，且任何科研工藝條件不會對生產工藝造成影響。

如果您有興趣，請郵件    聯系我們，我們會24小時內響應您的需求，謝謝！

 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產品，公司主要經營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發、濕法工藝設備。
我們擁有廣泛的采購網絡、強大的專業設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發和升級技術，可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產、翻新，保證我們的設備具有出色的運作表現，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持，以高質量的產品、優質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經營理念和宗旨，為中國半導體工業、微電子工業、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業提供優質設備和售后服務，為廣大用戶提供高科技、高性價比產品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業的技術、專注的服務，共創雙贏互利的合作關系。

經營產品：

Hitachi FE-SEM 5000電子掃描顯微 Lam Rainbow 4420 4520 4620 4720 AG Heatpulse自動傳片視頻 Hitachi FE-SEM 4500電子掃描顯微 KLA-Tencor 量測設備 Plasmalab 80 Plus RIE刻蝕 MRC 903M 高真空磁控濺射設備 603-III 高真空磁控濺射設備 MXP Multiplex ICP HR Plasma-Therm Unaxis 790 PECVD DR Semitool Spray Solvent Tool (SST 濕法去膠機 Semitool WST606MG Hitachi FE-SEM 4700電子掃描顯微 Hitachi FE-SEM 4800電子掃 Heatpulse 8108快速退火爐 Hitachi CD-SEM S-8820量測設備 Heatpulse 4100快速退火爐 Gasonics Aura 3010 等離子去膠

零件銷售：

CHI Shaped Target CHI INSET? Cathode A MU INSET? Cathode Assembly 8＂ Diameter DC Magnetron Perkin-Elmer Delta RF/DC Magnetron 各類機械手控制器平邊器 碳化硅 (SiC)-Susceptor Heatpulse 8800 Quartz Parts Heatpulse 8108 Quartz Parts (石英

詳情請登錄：www.tanmytech.com