碳化硅 (SiC)-Susceptor

專業供應碳化硅(SiC)制品，用于耐磨損、耐腐蝕、耐高溫、耐電漿轟擊、高導熱、高散熱、低污染、壽命長等一種或同時數種以上各式嚴苛要求之環境，諸如化工、機械、冶煉、軍事、半導體、ＬＥＤ、太陽能、熱能管理等產業。誠摯的邀請您成為我們寶貴的伙伴，共創無限美好的未來。
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(1) 碳化硅載盤 (SiC Tray)
應用領域：LED蝕刻用承載盤、PSS蝕刻制程
特性需求：高熱傳導性、耐電漿轟擊、使用壽命長

（2）快速退火爐RTP用承載盤
應用領域：硅晶圓、LED晶圓快速升溫熱處理用承載盤
特性需求：高熱傳導性、耐熱震、制程穩定性佳

（3）覆蓋板Cover Plate
應用領域：硅晶圓長膜用承載盤
特性需求：高熱傳導性、耐熱震、制程穩定性佳

（4）聚焦環Focus Ring
應用領域：硅晶圓蝕刻制程用
特性需求：耐電漿轟擊、耐高溫腐蝕


（5）CMP壓板
應用領域：半導體化學機械研磨用
特性需求：耐磨耗、耐腐蝕





 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ [email protected]）代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產品，公司主要經營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發、濕法工藝設備。

我們擁有廣泛的采購網絡、強大的專業設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發和升級技術，可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產、翻新，保證我們的設備具有出色的運作表現，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持，以高質量的產品、優質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經營理念和宗旨，為中國半導體工業、微電子工業、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業提供優質設備和售后服務，為廣大用戶提供高科技、高性價比產品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業的技術、專注的服務，共創雙贏互利的合作關系。

經營產品：

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零件銷售：

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