MXP Multiplex ICP HR

制造商： Surface Tech Sys
型號： MXP Multiplex ICP HR
Wafer 尺寸：
Minimum 50 mm
Maximum 200 mm
Set Size 150 mm
工藝： Chlorine Etch
Loadlock ：是
Loadlock Pump ：Edwards E2M40
High Vacuum Pump： Pfeiffer MAG 2000
Roughing Pump ：Edwards IQMB250 & IQDP80
RF Generator ： ENI/ACG-3B and Advanced Energy RFG 3001
Number of Gas Inputs： Five Gas
Process Gases： BCl3， Cl2， O2， Ar， He
Chillers ：Huber/Unistat 140W
附件： ICP V2 - Balun coil
Mechanical Clamp
Helium Backside Cooling
Carousel in MkIV MPX - 2 x 150mm wafers
3KW Source
300/30W platen
Purge gas line
E-Rack Modules: HCL1 +HCU3 +HCU5+VAC3Y +2x AMC1 +HBC2
其他信息： Windows 2000
Current Power Requirements: 400V ， 50Hz， 40 Amp， 3 phase
Unit can be configured for: 208/460， 60 Hz， 3 Phase.
CE Marked YES
制造年份： 2003
 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ [email protected]）代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產品，公司主要經營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發、濕法工藝設備。

我們擁有廣泛的采購網絡、強大的專業設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發和升級技術，可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產、翻新，保證我們的設備具有出色的運作表現，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持，以高質量的產品、優質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經營理念和宗旨，為中國半導體工業、微電子工業、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業提供優質設備和售后服務，為廣大用戶提供高科技、高性價比產品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業的技術、專注的服務，共創雙贏互利的合作關系。

經營產品：

Hitachi FE-SEM 5000電子掃描顯微 Lam Rainbow 4420 4520 4620 4720 AG Heatpulse自動傳片視頻 Hitachi FE-SEM 4500電子掃描顯微 KLA-Tencor 量測設備 Plasmalab 80 Plus RIE刻蝕 MRC 903M 高真空磁控濺射設備 603-III 高真空磁控濺射設備 MXP Multiplex ICP HR Plasma-Therm Unaxis 790 PECVD DR Semitool Spray Solvent Tool (SST 濕法去膠機 Semitool WST606MG Hitachi FE-SEM 4700電子掃描顯微 Hitachi FE-SEM 4800電子掃 Heatpulse 8108快速退火爐 Hitachi CD-SEM S-8820量測設備 Heatpulse 4100快速退火爐 Gasonics Aura 3010 等離子去膠

零件銷售：

CHI Shaped Target CHI INSET? Cathode A MU INSET? Cathode Assembly 8＂ Diameter DC Magnetron Perkin-Elmer Delta RF/DC Magnetron 各類機械手控制器平邊器 碳化硅 (SiC)-Susceptor Heatpulse 8800 Quartz Parts Heatpulse 8108 Quartz Parts (石英

詳情請登錄：www.tanmytech.com