http://www.51muhe.net/浮雕昌一種三維圖形，雕刻工具形狀的加工比起平雕較為困難。這里介紹兩種制造方法。一種方法是由藝術家直接在合適的材料上進行雕刻，雕刻的形狀與超聲雕刻作品凸凹相對（互為反模），作成雕刻工具后就可直接對工件進行超聲波浮雕。這種方法簡單易行，能直接保持藝術家的風格，適用于單件、小批生產。另一種方法是采用電火花成型加工。即事先由藝術家用紫銅或石墨等材料進行雕刻需要的浮雕作品（設計成可以合理拆拼的，方便雕刻工具制作），作為電火花成型的工具電極，再用電火花工具電極加工成超聲波雕刻工具。在電火花加工過程中，工具電極損耗不大，一般不會有明顯的影響；苦多次使用后，損耗過大，可略作修整后使用。
為了保護藝術家的作品，減少藝術家的高技能勞動，還可以將藝術家的作品作為母模，用彈性材料印模，制模樣，復制成工具電極后用電火花成型加工出雕刻工具。