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壓力傳感器的原理和應用
壓力傳感器是具有電源、接口電路、執行器、微型傳感器和信號處理的微型的機電系統。它可以使用在制作工藝和電路設計上,低成本而高精度地進行大量的生產。其實傳統的壓力傳感器是在當金屬彈性體受到外力的作用而導致變形的時候,經過機械量的彈性的變形,然后待電量轉換之后再輸出,因此,MEMS壓力傳感器的優越性有很多,尺寸很小,性價比很高。它主要分為兩種:硅電容式和硅壓阻式。 根據MEMS的有關技術,制造出電容式傳感器的形狀為橫隔柵狀的,上面跟下面的兩根橫隔柵就可以組成一組傳感器。
當上橫隔柵受到壓力作用的時候,就會向下移動,接著,就會使上面跟下面的兩根橫隔柵之間的距離發生改變,換句話說,板之間的電容量就會發生變化。硅壓阻式壓力傳感器使用了精密度很高的半導體電阻應變片來形成惠更斯電橋,這樣就可以利用它來作為力電變換來測量有關的電路。它的成本較低、功耗較低、測量的精密度較高。這種傳感器,如果壓力沒有發生變化,那么它的輸出就為零,所以幾乎是不需要耗電的。 而MEMS硅壓阻式壓力傳感器就是應用了四周的固定、形狀為圓形的應力杯硅薄膜的內壁,同時應用的有關技術,可以直接地把四個精密度高的半導體應變片直接地刻制到它的表層應力最大的地方,這樣就可以形成惠更斯電橋,因此可以作為力電變換來測量電路了,這是直接地把壓力轉換成為電量而測量的。
壓力傳感器的應用非常廣泛,工業電子:工業配料稱重、數字流量表以及數字壓力表等等。消費電子:太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器、洗碗機、飲水機、洗衣機、空調壓力傳感器,微波爐、健康秤以及血壓計等等。汽車電子:柴油機的共軌壓力傳感器、汽車發動機的進氣歧管壓力傳感器、汽車剎車系統的空氣壓力傳感器以及發動機的機油壓力傳感器等等。現在很多集成電路之中的四寸圓形的晶片的很多工藝都是MENS生產出來所用的。
傳感器服務你左右
現在,3D傳感器和加速計等MEMS器件正在包括手機、游戲機、玩具、GPS、筆記本電腦以及硬盤等在內的新興應用中迅速擴張;醫療電子,尤其是便攜醫療電子市場也將對各種新型傳感器產生巨大的需求。而傳感器最大的應用市場——汽車——也正呈現出電子化、智能化越來越明顯的趨勢,在汽車動力系統中,凸輪和曲軸傳感器因為與汽車的“心臟”發動機密切相關,成為動力系統的關鍵;在安全管理系統中,壓力傳感器實現側氣囊控制;車門模塊中,車門把手、車窗控制上使用了直流馬達位置傳感器;變速箱通過使用2軸或3軸角度/線性傳感器;被動安全裝置包括座椅承重的檢測、安全帶打開/扣住的監測、座椅位置調節的檢測(保證氣囊系統的有效保護)等等。
傳感器技術的最大特點就是不斷引入多學科的新技術發展新功能,現在,隨著電子、MEMS(微機電系統)、生物技術、物理、化學、光學等等技術的飛速發展,以及人類對自然變化認知的深入,傳感器技術已經進入由傳統向新型突破的關鍵階段,預計未來傳感器技術發展將呈現出微型化、數字化、多功能化、智能化和網絡化等趨勢。
PY210簡介:
采用進口擴散硅感壓芯體,全不銹鋼封焊結構,具有良好的防潮能力及優異的介質兼容性,適用于介質壓力微弱的負壓壓力場合的測量與控制。
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主要技術參數:
被測介質: 氣體、液體及蒸氣
壓力類型: 表壓 絕壓 差壓
量 程: -100KPa-0.6Mpa~60 Mpa,0~±10KPa~±100KPa間任意可選
輸 出:4~20mA(二線制)、0~5VDC、0~10VDC、0.5~4.5VDC(三線制)
綜合精度: ±0.1%FS(量程10MPa以上)、±0.25%FS、±0.5%FS
供 電: 24V Dc(9~36VDC)
絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC
負載電阻: 電流輸出型:ZUI大800Ω
電壓輸出型:大于50KΩ
介質溫度: -20~85℃、-20~150℃、-20~200℃、-20~300℃(可選)
環境溫度:-20~85℃
儲存溫度:-40~90℃
相對濕度: 0~95% RH
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