昌平罐裝潔凈間無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。 如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
昌平罐裝潔凈間 空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入昌平罐裝潔凈間無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。 優點:構造簡單、系統建造成本,昌平罐裝潔凈間無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制
程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。