如何進入無塵無塵車間？
1、  任何進入無塵無塵車間的人，必須先進入無塵更衣室，穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴（如圖①所示）。經過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無塵無塵車間之外，但這才是第一步。
2、  接著就要進入風淋室。所謂風淋室是指一條“吹風的長廊”，不過在這條長廊中吹出來的強風是沒有任何靜電存在的離子風。這種離子風所具有的中和能力可以將人身上的正負電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發、衣服上的灰塵也會自動脫落并粘在地板上的藍色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、  走過風淋室后，就進入無塵無塵車間了。如果無塵無塵車間生產的產品要防靜電，則還要經過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進入百級無塵車間還重復2、3步驟動作。什么是無塵概念？按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。  如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。(1)無塵車間潔凈隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易；
B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)無塵車間潔凈管道(Clean
Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)無塵車間并裝局部無塵車間(Clean
Spot)：將無塵車間等級10,000~100,000之亂流無塵車間內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；即屬此類。