河北千級(jí)潔凈室廠家 河北千級(jí)潔凈室建設(shè)河北千級(jí)潔凈室施工 潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 河北千級(jí)潔凈室廠家 河北千級(jí)潔凈室建設(shè)河北千級(jí)潔凈室施工潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
河北千級(jí)潔凈室廠家 河北千級(jí)潔凈室建設(shè)河北千級(jí)潔凈室施工每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
在潔凈室內(nèi),從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。這里的流線單向平行,是指時(shí)均流線彼此平行,方向單一。
河北千級(jí)潔凈室廠家 河北千級(jí)潔凈室建設(shè)河北千級(jí)潔凈室施工單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的,國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號(hào)中注明為層流。前聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語,并在注中指出,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時(shí)采用的習(xí)慣用語,“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動(dòng),而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語,在該術(shù)語后面同時(shí)也指出習(xí)慣上稱“層流”。
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