適用于：2-6英寸晶圓清洗 產品規格 控制模式：全自動控制 整機尺寸：2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H) 工件：2-6寸晶圓 產能：25片/槽 可按客戶產能需求設計 操作高度：850±50mm 電源：380V 三相五線制，50HZ，14KW 設備特點： 1.led清洗設備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用進口象牙白PVC板熱熔焊接； 2. led清洗設備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制； 3. led清洗設備槽體設置溫度、液位監控制裝置； 4. led清洗設備藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發，污染； 5.led清洗設備清洗區域高效過濾器，無二次污染機會； 6.led清洗設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE 管進行保護，防腐防水； 7.led清洗設備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設備漏液損害廠務地板； 8.led清洗設備的機械臂手采用直線滑塊導向，反向安裝，減少油及粉塵污染且便于維護； 9.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預。設備具有自動化程度高、運行成本低、生產效率高、性能穩定、安全可靠等特點。 10.led清洗設備安全性能高，設備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設計，確保人身和廠務安全；