一、 設備概況
A. 設備名稱:有機去膠清洗臺
B. 設備型號:KZIC-T-OGSW-05B
C. 整機尺寸:約1700mm(L)×1300mm(W)×1850mm(H);
D. 操作臺面高度:900±20mm
E. 被清洗工件規格:8 英寸圓片,25 片/籃(233mm*215mm*220mm);
F. 產能:1 籃/批,25 片/批;
G. 節拍 :0~99min 可調;
H. 設備類型:半自動;
二、 設備構造
A. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺骨架材質:國產優質SUS304 骨架外包;
B. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺外殼材質:2mm 厚SUS304 鏡面板折彎焊接而成;
C. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺臺面材質:2mm 厚SUS304 鏡面板
D. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺去膠清洗槽:2mm 厚SUS316L 鏡面板折彎焊接加電解拋光;
E. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺QDR 槽:德國進口10mm PP-N 板熱熔焊接而成;
F. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺管路:管路位于機臺下/后部,管道采用SUS316 和PFA 管路相互配合使用;
G. 晶洲(kzone)半導體濕制程清洗設備-有機去膠清洗臺排風消防:根據流體學原理設計位于機臺后上部,并配有導流和消防自動關閉裝置——如發現
著火,機臺會采集CO2 自動滅火器的信號,自動關閉風量調節口蝶閥,有效阻止火災蔓延;
H. 工作照明:機臺頂部配防腐防爆照明;
I. DI/N2 GUN:設備配美國-TEQCOM PTFE N2 Gun 和DIW Gun 各1 把,置于工作設備兩側;
J. 電器部分:采用觸摸屏+PLC 控制,電器元器件均采用Schneider&Omron;
蘇州晶洲裝備科技有限公司
SUZHOU KZONE EQUIPMENT TECHNOLOGY CO.,LTD.
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