適用于：2-6寸硅片清洗 產品規格 控制模式：半自動控制（工件搬運為手動操作，工藝參數控制過程為自動） 總體規格： 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) 工件：2-6寸硅片 產能：25片/槽，50片/槽可按客戶產能需求設計 電源：380V，50HZ，3KW 純水：CL-PVC 進口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m3/h 抽風口：φ200*1 抽風量MAX:700m3/h ，風量口裝有蝶閥，可手動調節 CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:0.5m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:2m3/h 設備特點： 1.半導體清洗設備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用德國進口PP-W板焊接； 2. 半導體清洗設備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制； 3. 半導體清洗設備的槽體設置溫度、液位監控裝置； 4. 半導體清洗設備的藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發，污染； 5.半導體清洗設備清洗區域配有高效過濾器，無二次污染機會； 6.半導體清洗設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE 管進行保護，防腐防水； 7.半導體清洗設備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設備漏液損害廠務地板； 8.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預。設備具有自動化程度高、運行成本低、生產效率高、性能穩定、安全可靠等特點； 9.半導體清洗設備安全性能高，設備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設計，確保人身和廠務安全； 地址:江蘇省常熟市辛莊光伏產業園光華環路32號 郵編:215500 總機:0512-52992666 傳真:0512-52210111 銷售熱線:0512-52992301-8010 郵箱:[email protected] 網址:www.kzonetech.com 張翠平：18852441913