深圳眾誠達應用材料科技有限公司生產銷售磁控濺射用的靶材。在濺射工藝中,等離子體不斷生成,同時離子受到電場的作用力,不斷的向靶材表面撞擊。
深圳眾誠達應用材料科技有限公司生產銷售磁控濺射用的靶材。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時接地技術很復雜,因而難大規模采用。為解決此問題,發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉化,與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。
深圳眾誠達應用材料科技有限公司生產銷售的AZO靶材,AZO靶材屬于ZnO系薄膜材料,具有優良的光學、電學性能。主要用于制備AZO薄膜,AZO薄膜是一種透明導電膜,具有與ITO薄膜相比擬的光學與電學特性,并具有制備工藝簡單、價格低、無毒與穩定性好等特點,在一種良好的導電薄膜材料。目前AZO靶材,廣泛應用于薄膜太陽能電池、建筑玻璃、導電玻璃、電磁屏蔽、熱阻擋層等大面積鍍膜玻璃領域。